Seren 9200010001 网络控制器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Seren 9200010001 网络控制器是 Seren MC2 系列中的一款匹配网络控制器，用于驱动 AT 系列自动阻抗匹配网络，通过调节电容位置将等离子体负载阻抗变换至 50 欧姆，保证射频功率稳定传输。

产品特点

• 负载与调谐电容支持自动/手动双模式控制

• 4 行真空荧光屏实时显示功率、电压、电容位置等状态

• 循环直通接口，简化与射频电源及匹配网络的布线

• 限位回退保护，防止电容卡死，便于起辉

• 支持内部与外部可编程预设位置

产品参数

• 输入电源：98–125 VAC 或 196–250 VAC，47–63 Hz

• 接口：匹配网络 DB15F、模拟控制 DB25F、RS-232 DB9F、循环直通 DB25

• 尺寸：3.5 英寸高 × 9.5 英寸宽 × 约 13 英寸深，1/2 机架 2U

产品应用领域

1. 半导体刻蚀、PECVD、PVD 等制程

2. 液晶面板与 OLED 生产中的等离子体处理

3. 薄膜太阳能电池沉积工艺

4. 高校及科研等离子体实验装置

5. 磁控溅射、离子镀等真空镀膜设备

6. 精密零件、晶圆、光学元件等离子体清洗

7. 射频功率传输系统集成

8. 二手半导体设备维护与替换

9. 航空航天精密电子组件制造

10. 医疗器械等离子体表面处理

综上，Seren 9200010001 是一款面向射频等离子体工艺的专业匹配网络控制器，需与 Seren AT 系列匹配网络配合使用，配置时注意确认接口兼容性。

Seren 9200010001 网络控制器  英文介绍

The Seren 9200010001 network controller is a matching network controller in the Seren MC2 series, used to drive the AT series automatic impedance matching network. By adjusting the capacitor position, the plasma load impedance is transformed to 50 ohms to ensure stable RF power transmission.

Product Features

Load and tuning capacitor support automatic/manual dual-mode control

4-line vacuum fluorescent screen displays real-time status such as power, voltage, and capacitor position

Loop through interface simplifies wiring with RF power supply and matching network

Limit rollback protection to prevent capacitor jamming and facilitate ignition

Support internal and external programmable preset positions

Product Specifications

Input power supply: 98-125 VAC or 196-250 VAC, 47-63 Hz

Interface: Matching network DB15F, analog control DB25F, RS-232 DB9F, loop through DB25

Size: 3.5 inches high x 9.5 inches wide x approximately 13 inches deep, 1/2 rack 2U

Product application areas

Semiconductor etching, PECVD, PVD and other processes

Plasma treatment in LCD panel and OLED production

Deposition process of thin film solar cells

University and research plasma experimental equipment

Vacuum coating equipment such as magnetron sputtering and ion plating

Precision parts, wafers, optical components plasma cleaning

RF power transmission system integration

Maintenance and replacement of second-hand semiconductor equipment

Manufacturing of aerospace precision electronic components

Medical Device Plasma Surface Treatment

In summary, Seren 9200010001 is a professional matching network controller for RF plasma technology, which needs to be used in conjunction with the Seren AT series matching network. When configuring, pay attention to confirming interface compatibility.

Seren 9200010001 网络控制器  产品图片

3.其他产品

IC3650SGDB1控制板
PWB68A999701DA1过滤板
IC3600SCBE1 PCB电路板

4.其他产品

FOXBORO FBMSLT Switch input module
ICS TRIPLEX T3310 Switch output module
ICS TRIPLEX T3420A Thermocouple output module

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型号：Seren 9200010001 网络控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货