Seren 9400000003 射频电源 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Seren 9400000003 是 Seren IPS 公司生产的一款组件编号，经核实该编号对应的是 Seren AT6 自动匹配网络，而非射频电源主机。

产品特点：

1. 属于 Seren ATS 系列自动匹配网络，用于将等离子体阻抗自动转换为 50 欧姆

2. 内置微处理器控制器，实现精准自动调谐

3. 支持 Auto/Manual 模式独立选择 Load 和 Tune 电容

4. 具备 Record Strike Preset 和可编程内外预设功能

5. 配备编码高速步进电机，响应速度快

6. 内置相位与幅度传感器，实时检测射频传输线状态

7. 提供 DC 电压探头，可测量腔体内部直流电压

8. 可选脉冲检测器，适配脉冲应用场景

9. 支持 RS232/488 串行接口，可选配 GUI 显示

10. 多种配置可选（L、倒 L、P、T 型），适配宽阻抗范围

产品应用领域：

1. 等离子体处理系统（溅射、干法刻蚀、沉积工艺）

2. 半导体制造设备

3. 真空镀膜设备

4. 工业材料加工设备

5. 实验室等离子体实验系统

结尾：
Seren AT6（P/N: 9400000003）是 Seren ATS 系列中的自动匹配网络组件，功率等级为 600W，主要用于等离子体工艺中射频阻抗的自动匹配

Seren 9400000003 射频电源  英文介绍

Seren 9400000003 is a component number produced by Seren IPS company. After verification, it was found that this number corresponds to the Seren AT6 automatic matching network, not the RF power supply host.

Product Features:

Belonging to the Seren ATS series automatic matching network, used to automatically convert plasma impedance to 50 ohms

Built in microprocessor controller for precise automatic tuning

Support independent selection of load and tune capacitors in Auto/Manual mode

Equipped with Record Strike Preset and programmable internal and external preset functions

Equipped with encoded high-speed stepper motor, fast response speed

Built in phase and amplitude sensors, real-time detection of RF transmission line status

Provide a DC voltage probe that can measure the DC voltage inside the cavity

Optional pulse detector, suitable for pulse application scenarios

Supports RS232/488 serial interface, optional GUI display

Multiple configurations available (L, inverted L, P, T type), suitable for a wide impedance range

Product application areas:

Plasma processing system (sputtering, dry etching, deposition process)

Semiconductor manufacturing equipment

vacuum coating equipment 

Industrial material processing equipment

Laboratory plasma experimental system

ending:

Seren AT6 (P/N: 9400000003) is an automatic matching network component in the Seren ATS series, with a power level of 600W, mainly used for automatic matching of RF impedance in plasma processes

Seren 9400000003 射频电源 产品图片

3.其他产品

ICS TRIPLEX T9831 扩展器接口
ICS TRIPLEX  T9851 控制器模块
EMERSON IPMC761-002 输入输出模块

4.其他产品

YOKOGAWA AIP830-001 Operation Keyboard
 AB91-1 HESG437479R1 HESG437899 DC output card
 HIEE300890R001 DC input module

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型号：Seren 9400000003 射频电源

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货