Seren 9600610000射频电源模块 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Seren 9600610000 射频电源模块

产品特点

1. 属于 Seren R601 系列射频发生器，输出功率 600 W，频率 13.56 MHz。

2. 支持通用交流输入，电压范围 90–125 VAC 或 190–264 VAC，47–63 Hz。

3. 标准模拟接口版本，引脚 3 内部上拉至 +5V，拉低时开启射频输出。

4. 主要用于等离子体处理系统，提供稳定的射频功率输出。

5. 可与 Seren AT 系列自动匹配网络配合使用，组成完整的射频功率传输系统。

应用领域

1. 半导体制造中的等离子体刻蚀工艺。

2. 等离子体增强化学气相沉积。

3. 物理气相沉积。

4. 溅射工艺。

5. 等离子体清洗与表面处理。

6. 薄膜沉积设备。

7. 实验室等离子体研究。

8. 工业材料加工设备。

9. 需要 13.56 MHz 射频功率的真空工艺场景。

10. Seren R601 射频电源系统的替换与维修。

总结

Seren 9600610000 是 R601 系列 600 W、13.56 MHz 射频电源模块，主要用于半导体和工业等离子体处理领域的射频功率输出，通常与 Seren 匹配网络配套使用。

Seren 9600610000射频电源模块  英文介绍

Seren 9600610000 RF power module

Product Features

Belonging to the Seren R601 series RF generator, with an output power of 600 W and a frequency of 13.56 MHz.

Supports universal AC input, voltage range 90-125 VAC or 190-264 VAC, 47-63 Hz.

Standard analog interface version, pin 3 is internally pulled up to+5V, and RF output is turned on when pulled down.

Mainly used in plasma processing systems to provide stable RF power output.

Can be used in conjunction with the Seren AT series automatic matching network to form a complete RF power transmission system.

Application Areas

Plasma etching process in semiconductor manufacturing.

Plasma enhanced chemical vapor deposition.

Physical vapor deposition.

Sputtering process.

Plasma cleaning and surface treatment.

Thin film deposition equipment.

Laboratory plasma research.

Industrial material processing equipment.

Vacuum process scenarios requiring 13.56 MHz RF power.

Replacement and maintenance of Seren R601 RF power supply system.

Summary

Seren 9600610000 is an R601 series 600 W, 13.56 MHz RF power module primarily used for RF power output in the semiconductor and industrial plasma processing fields, typically paired with Seren matching networks.

Seren 9600610000射频电源模块 产品图片

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型号：Seren 9600610000射频电源模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货