TEL 3D80-000825-V4射频发生器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

TEL 3D80-000825-V4 是 Tokyo Electron（TEL）设备上用的一个射频发生器，负责给等离子工艺提供射频能量。

它有哪些特点

1. TEL 原厂配套件，专为 TEL 半导体设备设计

2. 射频发生器，输出射频功率给等离子腔体

3. 工作频率通常是 13.56 MHz，半导体等离子工艺的标准频率

4. 输出稳定，保证等离子放电持续可靠

5. 功率控制精度高，工艺重复性好

6. 响应快，能跟上等离子负载的变化

7. 保护功能齐全，过压、过流、过温都有

8. 工业级设计，能长时间连续运行

9. 结构紧凑，方便集成在设备机箱内

10. 市面有流通，二手和库存件都能找到

都用在哪些地方

1. TEL 半导体制造设备

2. 等离子蚀刻工艺

3. 等离子增强化学气相沉积

4. 物理气相沉积系统

5. 其他需要射频等离子处理的真空设备

总的来说，TEL 3D80-000825-V4 就是 TEL 设备里的一款射频发生器，负责给等离子工艺提供稳定的射频能量，是半导体设备射频链路里的关键电源部件

TEL 3D80-000825-V4射频发生器  英文介绍

TEL 3D80-000825-V4 is an RF generator used on Tokyo Electron (TEL) equipment, responsible for providing RF energy to plasma processes.

What are its characteristics

TEL original factory kit, designed specifically for TEL semiconductor equipment

RF generator, outputting RF power to the plasma chamber

The operating frequency is usually 13.56 MHz, which is the standard frequency for semiconductor plasma processes

Stable output ensures continuous and reliable plasma discharge

High power control accuracy and good process repeatability

Fast response, able to keep up with changes in plasma load

Complete protection functions, including overvoltage, overcurrent, and overtemperature

Industrial grade design, capable of long-term continuous operation

Compact structure, easy to integrate into equipment chassis

There is circulation in the market, and both second-hand and inventory parts can be found

Where are they used

TEL Semiconductor Manufacturing Equipment

Plasma etching process

Plasma enhanced chemical vapor deposition

Physical vapor deposition system

Other vacuum equipment that requires RF plasma treatment

In general, TEL 3D80-000825-V4 is an RF generator in TEL equipment, responsible for providing stable RF energy to plasma processes and is a key power component in the RF link of semiconductor equipment

TEL 3D80-000825-V4射频发生器 产品图片

3.其他产品

Schneider 140CPU67260 处理器模块
Motorola IPMC761-002  输入输出模块
 SM810K01 3BSE030928R1总线互连模块

4.其他产品

 XVC768AE102 Thermocouple output card
 XVC768AE105 3BHB007211R0105 Voltainput module
 YPC104B YT204001-BT Voltaoutput module

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型号：TEL 3D80-000825-V4射频发生器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货