LAM 853-172610-002输出射频匹配模块 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

LAM 853-172610-002 是 Lam Research（泛林）设备上用的一个四路输出射频匹配模块。

它有哪些特点

1. 四路输出设计，能同时匹配多路射频信号

2. 属于射频匹配网络，负责把发生器输出和腔体负载的阻抗调匹配

3. 专为 Lam Research 的等离子设备配套用

4. 减少反射功率，让射频能量更有效地送进腔体

5. 市面流通较多，常见于二手和库存件

都用在哪些地方

1. Lam Research 半导体制造设备

2. 等离子蚀刻工艺

3. 等离子增强化学气相沉积

4. 需要多路射频输入的真空镀膜和表面处理设备

总的来说，LAM 853-172610-002 就是泛林设备里管射频匹配的一个四路输出模块，作用是把射频电源和等离子腔体之间的阻抗调好，让能量高效送进去，减少反射。

LAM 853-172610-002输出射频匹配模块   英文介绍

LAM 853-172610-002 is a four-way output RF matching module used on Lam Research equipment.

What are its characteristics

Four output design, capable of matching multiple RF signals simultaneously

Belonging to the RF matching network, responsible for matching the impedance between the generator output and the cavity load

Specially designed for use with Lam Research's plasma equipment

Reduce reflected power to enable more efficient delivery of RF energy into the cavity

There are many circulating items in the market, commonly found in second-hand and inventory items

Where are they used

Lam Research Semiconductor Manufacturing Equipment

Plasma etching process

Plasma enhanced chemical vapor deposition

Vacuum coating and surface treatment equipment requiring multiple RF inputs

In general, LAM 853-172610-002 is a four-way output module for RF matching in Panlin equipment. Its function is to adjust the impedance between the RF power supply and the plasma chamber, allowing energy to be efficiently delivered and reducing reflection.

LAM 853-172610-002输出射频匹配模块  产品图片

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型号：LAM 853-172610-002输出射频匹配模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货