Lam 857-174321-111射频匹配器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

这个 Lam 857-174321-111 是 Lam Research（泛林）的射频匹配器，名称标注为 RF Match Chamber Top With Light Source，配套 Lam/Novellus 的半导体设备使用。下面简单说说。

产品特点

1. Lam Research 原厂出品，属于 RF Match Chamber Top 系列，是腔体顶部的射频匹配组件。

2. 配套 Lam 或 Novellus 的半导体设备使用，属于机台上的标准射频匹配单元。

3. 产品描述里标注了 With Light Source，说明这个匹配器组件可能集成了光源相关功能。

4. 相关的配套零件号包括 715-173869-010 和 714-175075-009。

5. 属于半导体设备射频传输链上的自动阻抗匹配单元，跟射频发生器配套工作。

产品参数

1. 品牌：Lam Research，泛林。

2. 型号：857-174321-111。

3. 类型：RF Match Chamber Top，射频匹配器组件。

4. 配套零件号：715-173869-010、714-175075-009。

5. 应用设备：Lam / Novellus 半导体机台。

产品应用领域

1. 半导体制造设备，Lam 机台上做射频阻抗匹配。

2. 等离子体处理系统，配合射频发生器给腔体供能。

3. 刻蚀和沉积工艺，保证射频功率高效传输。

4. 设备维修替换，匹配器组件坏了拿来换。

5. 半导体设备维护，属于常见备件类型。

总的来说，Lam 857-174321-111 就是 Lam Research 的射频匹配器组件，配套 Lam/Novellus 机台使用，半导体设备上做射频阻抗自动匹配用的。

Lam 857-174321-111射频匹配器   英文介绍

This Lam 857-174321-111 is an RF Match Chamber Top With Light Source from Lam Research, designed for use with Lam/Novellus semiconductor devices. Below is a brief explanation.

Product Features

Produced by Lam Research, it belongs to the RF Match Chamber Top series and is an RF matching component at the top of the chamber.

Used with Lam or Novellus semiconductor equipment, it belongs to the standard RF matching unit on the machine.

The product description indicates' With Light Source ', suggesting that this matching component may have integrated light source related functions.

The relevant supporting part numbers include 715-173869-010 and 714-175075-009.

It belongs to the automatic impedance matching unit on the RF transmission chain of semiconductor equipment, which works in conjunction with the RF generator.

Product Specifications

Brand: Lam Research, Panlin.

Model: 857-174321-111.

Type: RF Match Chamber Top, RF Matcher Component.

Supporting part numbers: 715-173869-010, 714-175075-009.

Application equipment: Lam/Novellus semiconductor machine.

Product application areas

Semiconductor manufacturing equipment, perform RF impedance matching on Lam machines.

Plasma processing system, combined with RF generator to supply energy to the cavity.

Etching and deposition processes ensure efficient transmission of RF power.

Equipment maintenance and replacement, if the matching component is damaged, please replace it.

Semiconductor equipment maintenance is a common type of spare parts.

In general, Lam 857-174321-111 is the RF matching component of Lam Research, used in conjunction with Lam/Novellus machines for automatic RF impedance matching on semiconductor equipment.

Lam 857-174321-111射频匹配器 产品图片

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WOODWARD 9908-1501气阀

4.其他产品

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型号：Lam 857-174321-111射频匹配器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货