CTI-Cryogenics 8185154G001晶圆卡盘冷却系统 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

这个 CTI-Cryogenics 8185154G001 是爱德华（Edwards）旗下 CTI-Cryogenics 品牌的晶圆卡盘冷却系统，属于半导体工艺腔体上的低温冷却方案。下面简单说说。

产品特点

1. CTI-Cryogenics 原厂出品，现在归爱德华（Edwards）旗下，是半导体腔体低温解决方案的一部分。

2. 属于晶圆卡盘冷却系统，专门给工艺腔体里的卡盘做低温控温。

3. CTI-Cryogenics 和 Polycold 是爱德华在半导体低温领域的主力品牌，产品覆盖半导体、显示面板和研发场景。

4. 这套系统用闭环低温制冷方式，给卡盘提供稳定的低温环境。

5. 模块化设计，跟爱德华的腔体低温产品线配套。

产品参数

1. 品牌：CTI-Cryogenics，爱德华（Edwards）旗下。

2. 零件号：8185154G001。

3. 类型：晶圆卡盘冷却系统。

4. 应用场景：半导体工艺腔体低温控温。

5. 制冷方式：闭环低温制冷。

产品应用领域

1. 半导体刻蚀设备，给静电卡盘做低温冷却。

2. 薄膜沉积设备，控制晶圆温度保证工艺稳定。

3. 显示面板产线，真空镀膜设备的卡盘温控。

4. 科研真空装置，需要低温卡盘控温的实验场景。

5. 设备维修替换，卡盘冷却系统坏了拿来换。

总的来说，CTI-Cryogenics 8185154G001 就是爱德华旗下的晶圆卡盘冷却系统，半导体工艺腔体里做低温控温用的。

CTI-Cryogenics 8185154G001晶圆卡盘冷却系统   英文介绍

This CTI Kryogenics 8185154G001 is a wafer chuck cooling system under the CTI Kryogenics brand owned by Edwards, which belongs to the low-temperature cooling scheme on semiconductor process chambers. Below is a brief explanation.

Product Features

CTI Kryogenics, originally produced by Edwards, is now part of the semiconductor cavity low-temperature solution.

Belonging to the wafer chuck cooling system, it specifically provides low-temperature temperature control for the chucks in the process chamber.

CTI Kryogenics and Polycold are Edward's main brands in the semiconductor low-temperature field, with products covering semiconductors, display panels, and research and development scenarios.

This system uses a closed-loop low-temperature refrigeration method to provide a stable low-temperature environment for the chuck.

Modular design, compatible with Edward's low-temperature product line.

Product Specifications

Brand: CTI Kryogenics, owned by Edwards.

Part number: 8185154G001.

Type: Wafer Chuck Cooling System.

Application scenario: Low temperature control of semiconductor process chambers.

Refrigeration method: Closed loop low-temperature refrigeration.

Product application areas

Semiconductor etching equipment for low-temperature cooling of electrostatic chucks.

Thin film deposition equipment controls wafer temperature to ensure process stability.

Display panel production line, chuck temperature control for vacuum coating equipment.

Research vacuum devices require experimental scenarios with low-temperature chuck temperature control.

Equipment maintenance and replacement. If the chuck cooling system is broken, please replace it.

Overall, CTI-Cryogenics 8185154G001 is a wafer chuck cooling system under Edwards, used for low-temperature temperature control in semiconductor process chambers.

CTI-Cryogenics 8185154G001晶圆卡盘冷却系统 产品图片

3.其他产品

NI PXIE-4147测量单元模块
IS415UCVHH1A 印刷电路板
IS420UCSBH3A 控制器模块

4.其他产品

 DSTA001B 3BSE018316R1 AC power module
 DSTA002B 3BSE018317R1 Output logic card
 DSTC 452 DSTC452 Input logic card

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型号：CTI-Cryogenics 8185154G001晶圆卡盘冷却系统

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货