MKS R5027A-14071射频发生器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

MKS R5027A-14071 是一款射频发生器，在半导体设备里给等离子体工艺提供射频功率。

产品特点

1. MKS Instruments 原厂射频发生器，MKS 在半导体射频电源和真空测量领域比较常见。

2. 对应 Lam Research 零件号 660-213866-001，是泛林设备上的配套射频电源。

3. 输出功率 5000 瓦，频率 27MHz，属于中等功率级别的工业射频电源。

4. 流通的多为未测试件，状态标为 Sold As-Is。

5. 属于半导体等离子体工艺设备射频系统的核心供电部件。

产品参数

1. 型号：R5027A-14071。

2. 输入：三相 200 到 208 伏交流，40 安培。

3. 输出：5000 瓦，27MHz。

4. Lam Research 零件号：660-213866-001。

5. 类型：射频发生器。

应用领域

1. Lam Research 半导体设备的等离子体工艺射频功率供给。

2. 等离子体刻蚀和沉积工艺的射频驱动。

3. 半导体晶圆制造中的射频电源系统。

4. 老旧 Lam 设备射频发生器的维保替换。

5. 半导体设备备件流通与维修。

总的来说，这就是 Lam 设备上的一块 5 千瓦 27MHz 射频发生器，MKS 代工

MKS R5027A-14071射频发生器   英文介绍

MKS R5027A-14071 is an RF generator that provides RF power to plasma processes in semiconductor equipment.

Product Features

MKS Instruments' original RF generator, MKS is commonly used in the fields of semiconductor RF power supply and vacuum measurement.

Corresponding to Lam Research part number 660-213866-001, it is a matching RF power supply on the Panlin equipment.

Output power of 5000 watts, frequency of 27MHz, belonging to the medium power level of industrial RF power supply.

The circulating items are mostly untested, with the status marked as Sold As Is.

It belongs to the core power supply component of the RF system of semiconductor plasma process equipment.

Product Specifications

Model: R5027A-14071.

Input: Three phase 200 to 208 volts AC, 40 amperes.

Output: 5000 watts, 27MHz.

Lam Research part number: 660-213866-001.

Type: RF generator.

Application Areas

Lam Research's plasma process RF power supply for semiconductor equipment.

RF driven plasma etching and deposition processes.

RF power supply system in semiconductor wafer manufacturing.

Maintenance and replacement of old Lam equipment RF generators.

Circulation and maintenance of spare parts for semiconductor equipment.

Overall, this is a 5 kW 27MHz RF generator on the Lam device, manufactured by MKS

MKS R5027A-14071射频发生器 产品图片

3.其他产品

IS420UCSCH1A工业控制器模块
IS200EHPAG1A脉冲放大器板
AB 20P41AD412RA0NNN直流驱动器

4.其他产品

 TC501V150 3BSC550038R3 Switching value module
 TC515V2 3BSE013284R1 Switching value card
 3BHB002001R0012 Output Personality Module

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:https://www.jiangxidcs.com

型号：MKS R5027A-14071射频发生器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货