AE 3155999-258射频匹配器  PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

AE 3155999-258 这款射频匹配器，简单说就是 Advanced Energy 旗下 Navigator II 系列的射频阻抗匹配网络，用在半导体等离子体工艺设备上。

产品特点

1. Advanced Energy 原厂 Navigator II 系列射频匹配器，数字架构，带先进调谐算法。

2. 采用固态匹配技术，调谐速度比传统机械式真空电容快很多。

3. 支持脉冲射频功率传输，适合刻蚀和沉积等频繁负载波动的工况。

4. 内置实时功率和阻抗测量功能，可选配 Z‘Scan II 传感器分析等离子体状态。

5. 流通的多为拆机工作件或原厂翻新件，状态标为 Working Surplus 或 Manufacturer Refurbished。

产品参数

1. 零件号：3155999-258。

2. 系列：Navigator II。

3. 工作频率：13.56 MHz。

4. 类型：射频匹配网络。

5. 通信接口：支持 EtherCAT、Ethernet、DeviceNet 等。

应用领域

1. 半导体等离子体刻蚀工艺的射频阻抗匹配。

2. PECVD 和 PVD 薄膜沉积工艺的射频电路匹配。

3. 等离子体清洗和腔体清洁系统的射频调谐。

4. 射频电源与工艺腔体之间的阻抗匹配单元。

5. 老旧半导体设备的维保替换件。

总的来说，这就是 Navigator II 系列里的一块射频匹配器，拆机件和翻新件居多，用之前确认一下频率和接口类型就行。

AE 3155999-258射频匹配器  英文介绍

AE 3155999-258 is an RF impedance matching network from Advanced Energy's Navigator II series, used in semiconductor plasma process equipment.

Product Features

Advanced Energy Original Navigator II Series RF Matcher, digital architecture, with advanced tuning algorithm.

Using solid-state matching technology, the tuning speed is much faster than traditional mechanical vacuum capacitors.

Support pulse RF power transmission, suitable for frequent load fluctuations such as etching and deposition.

Built in real-time power and impedance measurement functions, optional Z'Scan II sensor for analyzing plasma state.

The circulating parts are mostly dismantled or refurbished parts from the original factory, with the status marked as Working Surplus or Manufacturer Refurbished.

Product Specifications

Part number: 3155999-258.

Series: Navigator II.

Operating frequency: 13.56 MHz.

Type: RF matching network.

Communication interface: Supports EtherCAT, Ethernet, DeviceNet, etc.

Application Areas

RF impedance matching in semiconductor plasma etching process.

RF circuit matching for PECVD and PVD thin film deposition processes.

RF tuning of plasma cleaning and cavity cleaning systems.

Impedance matching unit between RF power supply and process chamber.

Replacement parts for maintenance of old semiconductor equipment.

Overall, this is an RF adapter in the Navigator II series, mostly consisting of disassembled and refurbished parts. Just confirm the frequency and interface type before use.

AE 3155999-258射频匹配器 产品图片

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型号：AE 3155999-258射频匹配器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货