Nikon 4S587-005控制模块 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Nikon 4S587-005，这其实是 Queensgate NS2300/A 位置传感器单元在 Nikon 光刻机里的备件号，不是普通控制模块。它装在 Nikon NSR 系列步进扫描光刻机上，负责精密位置反馈。

产品特点

• Queensgate NS2300/A 三通道位置传感器单元，Nikon 原厂备件号 4S587-005

• 用于 Nikon NSR 系列光刻机的精密位置检测，配合 SDL（扫描/对准）系统工作

• 三通道设计，可同时处理多轴位置信号

• 常见于 NSR-S307E、NSR-S205C 等机型，二手市场有拆机件流通

• 固态传感器方案，工业级可靠性

产品参数

• 制造商：Queensgate Instruments

• 型号：NS2300/A

• Nikon 备件号：4S587-005

• 类型：位置传感器单元，三通道

• 输入：±15VDC，325mA

• 适配机型：Nikon NSR 系列（如 S307E、S205C）

应用领域

• Nikon NSR 系列光刻机的位置反馈控制

• 半导体光刻工艺的精密对准与扫描

• 老旧 Nikon 光刻机台的备件替换

• 二手半导体设备的拆机件流通

这台 Nikon 4S587-005 就是 Queensgate NS2300/A 传感器在 Nikon 光刻机里的身份，三通道位置检测，NSR 系列机台上干精密活用的

Nikon 4S587-005控制模块  英文介绍

Nikon 4S587-005， This is actually the spare part number for the Queensgate NS2300/A position sensor unit in the Nikon lithography machine, not a regular control module. It is installed on the Nikon NSR series stepper scanning lithography machine and is responsible for precise position feedback.

Product Features

Queensgate NS2300/A three channel position sensor unit, Nikon original spare part number 4S587-005

Used for precision position detection of Nikon NSR series lithography machines, working in conjunction with SDL (scanning/alignment) system

Three channel design, capable of processing multiple axis position signals simultaneously

Commonly seen in models such as NSR-S307E and NSR-S205C, with disassembled parts circulating in the second-hand market

Solid state sensor solution, industrial grade reliability

Product Specifications

Manufacturer: Queensgate Instruments

Model: NS2300/A

Nikon spare part number: 4S587-005

Type: Position sensor unit, three channel

Input: ± 15VDC, 325mA

Compatible models: Nikon NSR series (such as S307E, S205C)

Application Areas

Position Feedback Control of Nikon NSR Series Lithography Machines

Precision alignment and scanning in semiconductor lithography process

Replacement of spare parts for old Nikon lithography machines

Circulation of dismantled parts of second-hand semiconductor equipment

This Nikon 4S587-005 is the identity of the Queensgate NS2300/A sensor in Nikon lithography machines, with three channel position detection and precision use on NSR series machines

Nikon 4S587-005控制模块

3.其他产品

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4.其他产品

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型号：Nikon 4S587-005控制模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货