ADTEC 0190-24250射频等离子体发生器  PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

ADTEC 0190-24250，这就是 AX-3000III 的 AMAT 应用材料备件号，日本 ADTEC 造，专供半导体产线的射频等离子体发生器。

产品特点

• 13.56MHz 工业标准射频，适配 AMAT 半导体设备

• 3000W 总输出，三路独立供电，电流自动均分

• 内置 PFC 功率因数校正，效率高，对电网干扰小

• 全铝框架 + 防尘设计，工业环境扛得住

• 过压、过载、过热全保护，带远程开关控制

产品参数

• 射频频率：13.56 MHz

• 输出功率：3000W（三路，每路最低负载 2.5A）

• 输入电压：三相 380-420VAC / 单相 240-400VAC

• 尺寸重量：17 × 16.5 × 8.6 cm，约 2.7 kg

• 冷却方式：温控风扇，内置防尘过滤

应用领域

• AMAT 半导体刻蚀与沉积设备

• 液晶面板等离子体工艺

• 实验室射频等离子体研究

• 真空镀膜与表面处理

• 数据存储介质制造

这台 ADTEC 0190-24250 说白了就是 AMAT 设备里干射频这摊活的老手，原厂日本造，可靠性在产线上经得起磨。

ADTEC 0190-24250射频等离子体发生器   英文介绍

ADTEC 0190-24250， This is the AMAT application material spare part number for AX-3000III, manufactured by ADTEC in Japan, specifically for RF plasma generators used in semiconductor production lines.

Product Features

13.56MHz industrial standard RF, compatible with AMAT semiconductor equipment

3000W total output, three independent power supplies, automatic current sharing

Built in PFC power factor correction, high efficiency, minimal interference to the power grid

All aluminum frame+dust-proof design, capable of withstanding industrial environments

Full protection against overvoltage, overload, and overheating, with remote switch control

Product Specifications

RF frequency: 13.56 MHz

Output power: 3000W (three channels, minimum load of 2.5A per channel)

Input voltage: three-phase 380-420VAC/single-phase 240-400VAC

Size and weight: 17 × 16.5 × 8.6 cm, approximately 2.7 kg

Cooling method: Temperature controlled fan, built-in dust filter

Application Areas

AMAT Semiconductor Etching and Deposition Equipment

LCD panel plasma process

Laboratory RF plasma research

Vacuum coating and surface treatment

Manufacturing of data storage media

This ADTEC 0190-24250 is essentially an experienced RF operator in AMAT equipment. It is made in Japan and has reliability that can withstand wear and tear on the production line.

ADTEC 0190-24250射频等离子体发生器 

3.其他产品

Woodward 5501-412模拟 I/O 模块
FOXBORO RH922VU输出通信模块
S739DVR-RST1视频接收器

4.其他产品

DEIF IFM5.1 controller
DEIF IOM5.1 controller
DEIF PCM5.1 Control processor

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型号：ADTEC 0190-24250射频等离子体发生器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货