MKS 631D13T8FH 电容式压力计 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

MKS 631D13T8FH 电容式压力计，其主要特点如下：

1. MKS Instruments 600系列Baratron电容式压力计。

2. 满量程测量范围1000 Torr。

3. 传感器加热至150°C或200°C。

4. 加热设计减少工艺副产物沉积，抑制漂移。

5. 适用于金属蚀刻和氮化物CVD等工艺。

6. 采用Inconel镍合金传感器，耐腐蚀性强。

7. 绝对压力测量，不受气体成分影响。

8. 测量精度为读数的0.50%。

9. 分辨率高达满量程的0.01%。

10. 响应时间50毫秒。

11. 过压极限45 psia，可靠性高。

12. 提供0-10V模拟输出，配15针D-sub连接器。

13. 仅需±15V供电，无需独立电子模块。

14. 配备LED状态指示灯。

15. 体积比早期产品减小约40%，节省空间。

结尾：
以上特点使 MKS 631D13T8FH 在半导体真空工艺中具备高精度与长期稳定的压力测量性能。

MKS 631D13T8FH 电容式压力计  英文介绍

The MKS 631D13T8FH capacitive pressure gauge has the following main features:

MKS Instruments 600 series Baratron capacitive pressure gauge.

Full range measurement range of 1000 Torr.

The sensor is heated to 150 ° C or 200 ° C.

Heating design reduces the deposition of process by-products and suppresses drift.

Suitable for metal etching and nitride CVD processes.

Using Inconel nickel alloy sensor, it has strong corrosion resistance.

Absolute pressure measurement, unaffected by gas composition.

The measurement accuracy is 0.50% of the reading.

Resolution up to 0.01% of full scale.

The response time is 50 milliseconds.

Overpressure limit of 45 psi, high reliability.

Provide 0-10V analog output with a 15 pin D-sub connector.

Only ± 15V power supply is required, no independent electronic module is needed.

Equipped with LED status indicator lights.

The volume is reduced by about 40% compared to early products, saving space.

ending:

The above characteristics enable MKS 631D13T8FH to have high-precision and long-term stable pressure measurement performance in semiconductor vacuum processes.

MKS 631D13T8FH 电容式压力计 产品图片

3.其他产品

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4.其他英文产品

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型号：MKS 631D13T8FH 电容式压力计

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货