Daihen FGA-30G2-V射频发生器  PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Daihen FGA-30G2-V 是日本 Daihen（大同）制造的射频发生器，主要配套 TEL（东京电子）的半导体设备使用。

特点

1. 配套 TEL 设备：该型号明确标注用于 TEL（Tokyo Electron）的半导体设备系统。

2. 日本原厂制造：由 Daihen 在日本生产，属于半导体设备原厂配套部件。

3. 工作闲置状态：目前流通的该型号多为 working surplus（功能正常的闲置件），外观有使用痕迹。

4. 高功率射频输出：输出功率达 3000W，属于大功率射频发生器。

5. 半导体专用频段：工作频率处于 40MHz 频段，适用于等离子体工艺激发。

参数

1. 输出功率：3000W

2. 工作频率：40.38MHz（部分标注为 40.68MHz）

3. 制造商：Daihen（大同）

4. 产地：日本

5. 适用系统：TEL 半导体设备

应用领域

1. TEL 半导体设备的等离子体工艺射频供电

2. 半导体刻蚀与薄膜沉积工艺的射频功率源

3. 等离子体激发与维持

4. 半导体设备维修与部件替换

5. 工业射频功率应用场景

结尾说明：Daihen FGA-30G2-V 为 3000W 射频发生器，配套 TEL 设备使用，适用于半导体等离子体工艺的射频供电及设备维修替换。

Daihen FGA-30G2-V射频发生器  英文介绍

Daihen FGA-30G2-V is a radio frequency generator manufactured by Daihen (Datong) in Japan, mainly used in conjunction with semiconductor equipment from TEL (Tokyo Electronics).

Characteristics

Supporting TEL equipment: This model is clearly labeled as a semiconductor equipment system for TEL (Tokyo Electron).

Made in Japan: Produced by Daihen in Japan, it is a semiconductor equipment factory accessory component.

Idle state of work: Currently, most of the circulating models are working surplus (idle parts with normal functions), and there are signs of use on the appearance.

High power RF output: With an output power of 3000W, it belongs to high-power RF generators.

Semiconductor specific frequency band: The operating frequency is in the 40MHz band, suitable for plasma process excitation.

parameter

Output power: 3000W

Operating frequency: 40.38MHz (partially labeled as 40.68MHz)

Manufacturer: Daihen (Datong)

Origin: Japan

Applicable system: TEL semiconductor equipment

Application Areas

Plasma process RF power supply for TEL semiconductor equipment

RF power source for semiconductor etching and thin film deposition processes

Plasma excitation and maintenance

Semiconductor equipment maintenance and component replacement

Industrial RF power application scenarios

Conclusion: Daihen FGA-30G2-V is a 3000W RF generator used in conjunction with TEL equipment, suitable for RF power supply and equipment maintenance and replacement in semiconductor plasma processes.

Daihen FGA-30G2-V射频发生器 

3.其他产品

IS220PDIAH1A 独立模块
CK11CE300 接触器
FOXBORO FBM202 P0926EQ 热电偶输入模块

4.其他产品

VMIVME-7487 VMEbus interface module
VMIVME-7487A Gas turbine output module
VMIVME-7588 Gas turbine output module

本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:https://www.jiangxidcs.com

型号：HiTek A1035490电源供应模块

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货