Shinko SBX92101286-4晶圆搬运机器人  PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Shinko SBX92101286-4 是应用于 TEL Trias 系统的 300mm 晶圆搬运机器人，属于半导体设备中的晶圆传输机械手模块。

特点

1. 300mm 晶圆搬运：专为 300mm 晶圆传输设计，适用于大尺寸晶圆的自动化搬运。

2. TEL Trias 系统配套：该机器人作为 TEL Trias 设备的组成部分使用，属于系统集成部件。

3. Non-Copper 设计：标注为 Non-Copper（非铜）版本，适用于对铜污染敏感的工艺环境。

4. 日本制造：由 Shinko 在日本生产，属于半导体设备原厂配套部件。

5. 机械手结构：作为晶圆传输机械手，负责在工艺腔室与载片台之间搬运晶圆。

参数

1. 适用晶圆尺寸：300mm

2. 部件类型：晶圆搬运机器人（Wafer Handling Robot）

3. 型号：SBX92101286-4

4. 配套系统：TEL Trias 系统

5. 产地：日本

应用领域

1. 半导体晶圆自动化传输

2. TEL Trias 系统晶圆搬运环节

3. 300mm 晶圆工艺设备配套

4. 对铜污染敏感工艺的晶圆传输

5. 半导体设备维修与部件替换

结尾说明：Shinko SBX92101286-4 为 300mm 晶圆搬运机器人，配套 TEL Trias 系统使用，适用于半导体晶圆自动化传输及设备维修替换场景。

Shinko SBX92101286-4晶圆搬运机器人  英文介绍

Shinko SBX92101286-4 is a 300mm wafer handling robot used in TEL Trias systems, belonging to the wafer transfer robot module in semiconductor equipment.

Characteristics

300mm wafer handling: Designed specifically for 300mm wafer transfer, suitable for automated handling of large-sized wafers.

TEL Trias system support: This robot is used as a component of TEL Trias equipment and belongs to the system integration component.

Non Copper Design: labeled as the Non Copper version, suitable for process environments sensitive to copper pollution.

Made in Japan: Produced by Shinko in Japan, it is an original supporting component for semiconductor equipment.

Robot arm structure: As a wafer transfer robot, it is responsible for transporting wafers between the process chamber and the wafer stage.

parameter

Applicable wafer size: 300mm

Component type: Wafer Handling Robot

Model: SBX92101286-4

Supporting system: TEL Trias system

Origin: Japan

Application Areas

Automated transmission of semiconductor wafers

TEL Trias system wafer handling process

300mm wafer process equipment matching

Wafer transport for copper pollution sensitive processes

Semiconductor equipment maintenance and component replacement

Conclusion: Shinko SBX92101286-4 is a 300mm wafer handling robot designed for use with TEL Trias system, suitable for semiconductor wafer automation transfer and equipment maintenance and replacement scenarios.

Shinko SBX92101286-4晶圆搬运机器人 

3.其他产品

SR469 469-P5-HI-A20-E 电机管理继电器
IS220PDIAH1A 独立模块
CK11CE300 接触器

4.其他产品

EMERSON A6410 Displacement speed module
EMERSON A6824 Displacement speed module
ACC-5595-208 350-805595-208N Gas turbine switch module

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型号：Shinko SBX92101286-4晶圆搬运机器人

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货