Shinko BX80-070280-11 晶圆搬运转移机器人   PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Shinko BX80-070280-11，这是神港（Shinko）的 200mm 晶圆搬运机器人，机器人型号 SBX92100217，产线上干腔体内部取放片这摊活的。

产品特点

• 半导体 200mm 晶圆专用搬运机械手，适配刻蚀、镀膜设备腔体

• 四轴伸缩机械臂，腔体内部狭小空间灵活取放片

• 两级真空吸附结构，带负压检测，防止晶圆掉落损伤

• 伺服闭环驱动，重复定位精度高，启停动作柔和，机械振动小

• 键控旋转单元，规避晶圆偏轴装载问题

产品参数

• 制造商：Shinko

• 型号：BX80-070280-11

• 机器人类型：SBX92100217

• 最大晶圆尺寸：200mm

• 最大负载：5kg

• 转速：0-100 RPM 连续可调

• 电源：12V DC

• 晶圆取放时间：1.2 秒

• 防护等级：IP65

应用领域

• 半导体 200mm 产线腔体内部晶圆转运

• TEL T-3044SS 刻蚀机配套

• 刻蚀、镀膜设备内部取放片

• 老旧 200mm 机台的备件替换与维修

• 二手半导体设备翻新与流通

这台 Shinko BX80-070280-11 说白了就是 200mm 产线上钻腔体干取放片这摊活的四轴机械手，真空吸附带负压检测，动作柔和护膜层，老机台搬运模块出问题可以拿它替换。

Shinko BX80-070280-11 晶圆搬运转移机器人   英文介绍

Shinko BX80-070280-11， This is Shinko's 200mm wafer handling robot, model SBX92100217, used for picking and placing wafers inside the dry chamber on the production line.

Product Features

Semiconductor 200mm wafer dedicated handling robot, compatible with etching and coating equipment chambers

Four axis telescopic robotic arm, with a narrow space inside the cavity for flexible access to and placement of plates

Two stage vacuum adsorption structure with negative pressure detection to prevent wafer dropping and damage

Servo closed-loop drive, high repeat positioning accuracy, soft start stop action, and low mechanical vibration

Key controlled rotating unit to avoid wafer off axis loading issues

Product Specifications

Manufacturer: Shinko

Model: BX80-070280-11

Robot type: SBX92100217

Maximum wafer size: 200mm

Maximum load: 5kg

Speed: 0-100 RPM continuously adjustable

Power supply: 12V DC

Wafer retrieval time: 1.2 seconds

Protection level: IP65

Application Areas

Semiconductor 200mm production line cavity internal wafer transfer

TEL T-3044SS etching machine matching

Etching and coating equipment internal removal and placement of chips

Replacement and maintenance of spare parts for old 200mm machines

Renovation and circulation of second-hand semiconductor equipment

This Shinko BX80-070280-11 is essentially a four axis robotic arm used for dry picking and placing of chips in the drilling chamber on a 200mm production line. It features vacuum suction with negative pressure detection and a soft protective film layer. If there are any issues with the old machine's handling module, it can be replaced.

Shinko BX80-070280-11 晶圆搬运转移机器人 

FOXBORO FDC280 RH101FQ 现场设备控制器
IC752SPL013-BA 控制接口面板
DEIF SCM-1适配器模块

4.其他产品

B&R X20CP1586 servo controller
DEIF MTR-4-215 Multi-channel module
EPRO A6740 channel module

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型号：Shinko BX80-070280-11 晶圆搬运转移机器人

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货