Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

Daihen 3D39-000004-V2 是一款高性能射频自动匹配器，工作频率60MHz、功率5kW，适用于半导体等离子体工艺。以下是该型号的15项核心特点：

1. 工作频率60MHz，适配等离子体工艺需求。

2. 额定功率5kW，满足中高功率制程。

3. 自动阻抗匹配，快速调至50Ω标准。

4. 有效抑制反射功率，提升传输效率。

5. 内置高精度功率采样，实时监测功率。

6. 水冷散热结构，支持长期满功率运行。

7. 匹配速度快，确保等离子体稳定起弧。

8. 具备过功率、过温等多重保护功能。

9. 标准通信接口，便于与主机联动。

10. 内部精密可调元件，匹配范围宽。

11. 自动跟踪调节，应对腔体阻抗波动。

12. 洁净防尘设计，适合无尘车间使用。

13. 故障代码自检，快速定位异常。

14. 整机屏蔽结构，抑制射频干扰。

15. 出厂已校准，上机即可使用。

总之，Daihen 3D39-000004-V2 具备精准匹配、稳定可靠、易于维护等特点，是半导体工艺中实现高效射频传输的可靠选择。

Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器 英文介绍

Daihen 3D39-000004-V2 is a high-performance RF automatic matching device with a working frequency of 60MHz and a power of 5kW, suitable for semiconductor plasma processes. Here are the 15 core features of this model:

Operating frequency of 60MHz, suitable for plasma process requirements.

Rated power of 5kW, suitable for medium to high power processes.

Automatic impedance matching, quickly adjust to 50 Ω standard.

Effectively suppress reflected power and improve transmission efficiency.

Built in high-precision power sampling for real-time monitoring of power.

Water cooled cooling structure, supporting long-term full power operation.

Fast matching speed ensures stable plasma arc initiation.

It has multiple protection functions such as over power and over temperature.

Standard communication interface for easy linkage with the host.

Internal precision adjustable components with a wide matching range.

Automatic tracking and adjustment to cope with fluctuations in cavity impedance.

Clean and dust-proof design, suitable for use in dust-free workshops.

Fault code self check, quickly locate abnormalities.

The whole machine has a shielding structure to suppress radio frequency interference.

Factory calibrated, ready for use on the machine.

In summary, Daihen 3D39-000004-V2 is a reliable choice for achieving efficient RF transmission in semiconductor processes due to its precise matching, stability, reliability, and ease of maintenance.

Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器 产品展示   

3.其他产品

SD812F 3BDH000014R1可编程控制系统
REF615C-D HCFCACABANB2BAN1XD 馈线保护继电器
Emerson KJ3242X1-BK1 12P4711X052模拟输入模块

4.其他英文产品

PROSOFT PTQ-PDPMV1 Network Communication Processor
IC693TCM302 temperature control module
UFC760BE143 inverter high-voltage board

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型号：Daihen 3D39-000004-V2 射频自动匹配器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货