Nikon 4S587-469-3直线电机控制器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

聊到Nikon 4S587-469-3这个直线电机控制器，它是Nikon光刻系统里用来驱动精密运动平台的型号，在业内常被称为WYL Linear Motor Controller，具体型号为SPA452A。

特点

1. 专为Nikon NSR光刻系统配套，控制晶圆台或掩模版台的直线电机驱动。

2. 定位精度和速度控制要求极高，属于Nikon原厂运动控制组件。

3. 采用WYL系列控制架构，与Nikon系统深度集成。

4. 多以成套形式流通，配合Nikon原厂运动控制方案使用。

5. 多为NSR机台拆机备件，功能状态按实际供应情况确认。

参数

1. 货号：Nikon 4S587-469-3，对应型号SPA452A。

2. 形态：直线电机控制器（WYL Linear Motor Controller）。

3. 适用系统：Nikon NSR系列光刻机。

4. 产地：日本。

5. 关联部件：4S013-373-1或4S013-373-2等配套组件。

用途

1. Nikon NSR光刻机的晶圆台或掩模版台驱动控制。

2. 光刻工艺中的运动平台精确定位。

3. 高精度检测设备的直线电机驱动。

4. 老旧Nikon机台运动控制系统的维保替换。

5. 亚微米级直线运动精度的工业自动化系统。

总的来说，4S587-469-3是Nikon NSR光刻系统里负责直线电机驱动的原厂控制器，在半导体产线的运动控制环节比较常见，多为拆机备件流通，采购时确认好功能状态和配套完整性就行。

Nikon 4S587-469-3直线电机控制器  英文介绍

When it comes to the Nikon 4S587-469-3 linear motor controller, it is a model used in Nikon lithography systems to drive precision motion platforms and is commonly referred to as the WYL Linear Motor Controller in the industry. The specific model is SPA452A.

Characteristics

Specially designed for Nikon NSR lithography systems, it controls the linear motor drive of the wafer stage or mask stage.

The positioning accuracy and speed control requirements are extremely high, and it belongs to Nikon's original motion control components.

Adopting WYL series control architecture, deeply integrated with Nikon system.

Mostly circulated in complete sets, used in conjunction with Nikon's original motion control solution.

Most of them are spare parts for NSR machine disassembly, and the functional status is confirmed according to the actual supply situation.

parameter

Item number: Nikon 4S587-469-3, corresponding to model SPA452A.

Form: WYL Linear Motor Controller.

Applicable system: Nikon NSR series lithography machine.

Origin: Japan.

Related components: 4S013-373-1 or 4S013-373-2 and other supporting components.

Purpose

Drive control of Nikon NSR lithography machine's wafer stage or mask stage.

Accurate positioning of motion platform in photolithography process.

Linear motor drive for high-precision detection equipment.

Maintenance and replacement of the old Nikon machine motion control system.

Industrial automation system with sub micron level linear motion accuracy.

Overall, 4S587-469-3 is the original controller responsible for linear motor drive in Nikon NSR lithography systems. It is commonly used in the motion control process of semiconductor production lines and is mainly used for the circulation of disassembled spare parts. When purchasing, it is necessary to confirm the functional status and completeness of the matching.

Nikon 4S587-469-3直线电机控制器 产品图片

3.其他产品

TRICONEX 3504E 通讯模块
EMERSON SLS1508 数字量扩展模块
ProSoft MVI56E-MCM 电子元器件 

4.其他产品

4WRSE10V80-32/G24K0/A1V-695 R900247749 motor
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型号：Nikon 4S587-469-3直线电机控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货