Adixen Pfeiffer A200L1115真空干式泵 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Adixen Pfeiffer A200L1115 干式真空泵

Adixen Pfeiffer A200L1115（A200L）是Pfeiffer Vacuum旗下Adixen品牌的一款多级罗茨干式真空泵，用于半导体等行业的洁净真空工艺。

一、产品特点（5条）

1. 多级罗茨技术，压缩腔内无油运行，提供洁净无油真空环境。

2. 峰值抽速200 m³/h，专为高吞吐量应用设计。

3. 结构紧凑，与A100L型号完全互换，便于升级。

4. 低噪音低振动，适合洁净室环境集成。

5. 符合CE和SEMI S2等国际标准。

二、产品参数（5条）

1. 制造商：Pfeiffer Vacuum，零件号A200L1115。

2. 峰值抽速：200 m³/h。

3. 极限压力：优于1.3×10⁻² hPa。

4. 电源：三相，200-230V或380-480V，50/60Hz。

5. 冷却方式：水冷。

三、应用领域（5条）

1. 半导体Load Lock室和传输腔快速抽气。

2. 物理气相沉积（PVD）等镀膜工艺。

3. 扫描电子显微镜等分析仪器真空系统。

4. 光伏制造中的真空工艺。

5. 激光系统中的气体回收或低温应用。

总结：Adixen Pfeiffer A200L1115是一款紧凑高效的多级罗茨干式泵，峰值抽速200 m³/h，洁净无油，是半导体Load Lock和传输腔等工艺的理想选择。

Adixen Pfeiffer A200L1115真空干式泵  英文介绍

Adixen Pfeiffer A200L1115 Dry Vacuum Pump

Adixen Pfeiffer A200L1115 (A200L) is a multi-stage Roots dry vacuum pump under the Adixen brand of Pfeiffer Vacuum, used for clean vacuum processes in industries such as semiconductors.

1、 Product features (5 items)

Multi stage Roots technology ensures oil-free operation within the compression chamber, providing a clean and oil-free vacuum environment.

Peak pumping speed of 200 m ³/h, designed specifically for high-throughput applications.

Compact structure, fully interchangeable with A100L model, easy to upgrade.

Low noise and low vibration, suitable for integration in clean room environments.

Compliant with international standards such as CE and SEMI S2.

2、 Product parameters (5 items)

Manufacturer: Pfeiffer Vacuum, part number A200L1115.

Peak pumping speed: 200 m ³/h.

Ultimate pressure: better than 1.3 × 10 ⁻ ² hPa.

Power supply: three-phase, 200-230V or 380-480V, 50/60Hz.

Cooling method: Water cooling.

3、 Application areas (5 items)

The semiconductor load lock chamber and transmission cavity are rapidly evacuated.

Physical vapor deposition (PVD) and other coating processes.

Vacuum systems for analytical instruments such as scanning electron microscopes.

Vacuum technology in photovoltaic manufacturing.

Gas recovery or low-temperature applications in laser systems.

Summary: Adixen Pfeiffer A200L1115 is a compact and efficient multi-stage Roots dry pump with a peak pumping speed of 200 m ³/h, clean and oil-free, making it an ideal choice for semiconductor load lock and transmission chamber processes.

Adixen Pfeiffer A200L1115真空干式泵 产品图片

3.其他产品

BENTLY 3500/42M-01-00 位移振动模块
HONEYWELL 05704-A-0146 数字输入/输出模块
SDCS-CON-4-COAT-ROHS电源模块 

4.其他产品

3BHE039203R0101 3BHE036204P201 module
3BHB003152P104 5SXE05-0155 IGCT module
12P2532X152 KJ3222X1-BA1 CE4003S2B1 module

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型号：Adixen Pfeiffer A200L1115真空干式泵

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货