Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器

Nikon 4S013-373-2 是尼康公司为其 NSR 系列半导体光刻系统配套的直线电机控制器，主要用于晶圆台的精密运动控制。

一、产品特点（5条）

1. 尼康原厂制造，专为 NSR 系列光刻系统配套设计。

2. 常与 PADATAIF-X4A 接口 PCB 板卡关联。

3. 对应完整控制器型号包括 SPA452A（WYL型）等。

4. 适用于 300mm 晶圆 DUV 扫描系统，如 NSR-S307E。

5. 市场以良品拆机件状态流通。

二、产品参数（5条）

1. 制造商：Nikon，零件号 4S013-373-2。

2. 关联板卡型号：PADATAIF-X4A。

3. 关联控制器型号：SPA452A（WYL 线性电机控制器）。

4. 适配系统：Nikon NSR 系列光刻系统。

5. 产地：日本。

三、应用领域（5条）

1. 半导体光刻设备中的晶圆台精密定位。

2. 直线电机驱动控制。

3. 替换老旧或故障的运动控制组件。

4. 翻新 Nikon NSR 系列光刻机。

5. 产线关键备件储备。

总结：Nikon 4S013-373-2 是 NSR 光刻系统的直线电机控制器组件，对应 PADATAIF-X4A 板卡或 SPA452A 控制器，是半导体设备维护和翻新中的重要备件

Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器  英文介绍

Nikon 4S013-373-2 Linear Motor Controller

Nikon 4S013-373-2 is a linear motor controller provided by Nikon for its NSR series semiconductor lithography system, mainly used for precision motion control of the wafer stage.

1、 Product features (5 items)

Made by Nikon, specifically designed to complement the NSR series lithography system.

Often associated with PADATAIF-X4A interface PCB board.

The corresponding complete controller models include SPA452A (WYL type), etc.

Suitable for 300mm wafer DUV scanning systems, such as NSR-S307E.

The market circulates in the form of dismantled parts of good quality.

2、 Product parameters (5 items)

Manufacturer: Nikon, part number 4S013-373-2.

Associated card model: PADATAIF-X4A.

Associated controller model: SPA452A (WYL linear motor controller).

Adaptation system: Nikon NSR series lithography system.

Origin: Japan.

3、 Application areas (5 items)

Precision positioning of wafer frustum in semiconductor lithography equipment.

Linear motor drive control.

Replace old or faulty motion control components.

Refurbish Nikon NSR series lithography machines.

Reserve of key spare parts for the production line.

Summary: Nikon 4S013-373-2 is a linear motor controller component of NSR lithography system, corresponding to PADATAIF-X4A board or SPA452A controller, and is an important spare part for semiconductor equipment maintenance and refurbishment

Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器 产品图片

3.其他产品

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PROSOFT MVI69E-MBS 通讯模块
B&R 8MSA3L.E0-31 伺服电动机 

4.其他产品

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PSCDM024DCBAN 16800-5415 mechanical module
PSCDM024DCBAN A5E0024837106 module

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型号：Nikon 4S013-373-2 直线电机控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

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