Yaskawa 4S586-972-3 直线电机控制器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Yaskawa 4S586-972-3 直线电机控制器

Yaskawa 4S586-972-3 是安川（Yaskawa）生产的一款直线电机控制器，型号为 XU-DL1902，主要用于半导体制造设备中的精密运动控制。

一、产品特点（5条）

1. 安川原厂制造，品质可靠。

2. 专为半导体设备设计，原用于 Nikon NSR-S205C 步进重复曝光系统。

3. 采用安川伺服技术，实现高速、高精度的直线电机定位控制。

4. 适用于洁净车间等工业环境，长期运行稳定。

5. 市场上以工作良品状态流通，可用于替换或维修。

二、产品参数（5条）

1. 制造商：Yaskawa（安川）。

2. 型号：XU-DL1902。

3. 关联零件号：4S586-972-3、4S013-374。

4. 产地：日本。

5. 适配设备：Nikon NSR-S205C 步进重复曝光系统。

三、应用领域（5条）

1. 半导体光刻设备 – 原用于 Nikon 步进曝光机中的晶圆台直线电机控制。

2. 晶圆搬运与定位 – 实现晶圆传输过程中的高精度定位。

3. 半导体设备维护 – 替换老旧或故障的同类控制器。

4. 二手设备翻新 – 翻新 Nikon 系列光刻设备时作为备件。

5. 工厂备件储备 – 纳入半导体产线关键备件库，保障设备快速修复。

总结：Yaskawa 4S586-972-3（XU-DL1902）是安川专为 Nikon 半导体光刻设备配套的直线电机控制器，具备高精度、高可靠性的特点，是半导体设备维护和翻新中的重要备件。

Yaskawa 4S586-972-3 直线电机控制器  英文介绍

Yaskawa 4S586-972-3 Linear Motor Controller

Yaskawa 4S586-972-3 is a linear motor controller produced by Yaskawa, model XU-DL1902, mainly used for precision motion control in semiconductor manufacturing equipment.

1、 Product features (5 items)

Yaskawa original factory manufacturing, reliable quality.

Specially designed for semiconductor devices, originally used in the Nikon NSR-S205C step and repeat exposure system.

Adopting Yaskawa servo technology to achieve high-speed and high-precision linear motor positioning control.

Suitable for industrial environments such as clean workshops, with long-term stable operation.

In circulation in the market in good working condition, it can be used for replacement or repair.

2、 Product parameters (5 items)

Manufacturer: Yaskawa (Yaskawa).

Model: XU-DL1902.

Associated part numbers: 4S586-972-3, 4S013-374.

Origin: Japan.

Compatible device: Nikon NSR-S205C Step by Step Repetitive Exposure System.

3、 Application areas (5 items)

Semiconductor lithography equipment - originally used for controlling the wafer stage linear motor in Nikon stepper exposure machines.

Wafer handling and positioning - achieving high-precision positioning during wafer transfer.

Semiconductor equipment maintenance - replace old or faulty controllers of the same type.

Used equipment refurbishment - as a spare part when refurbishing Nikon series lithography equipment.

Factory spare parts reserve - included in the critical spare parts warehouse of the semiconductor production line to ensure rapid equipment repair.

Summary: Yaskawa 4S586-972-3 (XU-DL1902) is a linear motor controller specially designed by Yaskawa for Nikon semiconductor lithography equipment. It has the characteristics of high precision and high reliability, and is an important spare part for semiconductor equipment maintenance and refurbishment.

Yaskawa 4S586-972-3 直线电机控制器 产品图片

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型号：Yaskawa 4S586-972-3 直线电机控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货