AMAT 0090-36276 反应器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

AMAT 0090-36276 是应用材料公司的一款DPA反应器组件，作为P5000和5200系列CVD及刻蚀设备的核心工艺模块，在晶圆薄膜沉积和刻蚀制程中发挥着关键作用。

产品特点

1. 专为应用材料P5000及5200系列CVD与刻蚀系统设计，适配性高。

2. 作为DPA反应器组件，是化学气相沉积工艺中的核心反应腔体部件。

3. 与部件号0190-35867配套使用，构成完整的反应器组件。

4. 在二手设备市场多以翻新或工作正常状态流通。

5. 重量约9.7公斤，属于相对精密的模块化组件。

产品参数

1. 品牌：应用材料（AMAT）。

2. 型号：0090-36276。

3. 类型：DPA反应器组件。

4. 关联部件：0190-35867（外壳组件）。

5. 适用机型：P5000及5200系列CVD与刻蚀系统。

应用领域

1. P5000及5200系列CVD设备的薄膜沉积工艺。

2. P5000及5200系列刻蚀设备的干法刻蚀工艺。

3. 半导体晶圆厂中应用材料工艺设备的维护与备件替换。

4. 二手半导体设备的翻新与反应器组件更新。

5. 晶圆厂备件库储备，保障产线连续运行。

结尾

AMAT 0090-36276 DPA反应器组件是应用材料P5000及5200系列设备中执行CVD和刻蚀工艺的核心硬件，其状态直接影响工艺腔室的反应环境与成膜质量，在设备运维和翻新中是需要重点关注的组件

AMAT 0090-36276 反应器  英文介绍

AMAT 0090-36276 is a DPA reactor component from Applied Materials, serving as the core process module for P5000 and 5200 series CVD and etching equipment, playing a critical role in wafer thin film deposition and etching processes.

Product Features

Specially designed for P5000 and 5200 series CVD and etching systems, with high adaptability.

As a DPA reactor component, it is the core reaction chamber component in chemical vapor deposition technology.

Used in conjunction with part number 0190-35867 to form a complete reactor assembly.

In the second-hand equipment market, it is mostly circulated in refurbished or working condition.

Weighing approximately 9.7 kilograms, it is a relatively precise modular component.

Product Parameters

Brand: Applied Materials (AMAT).

Model: 0090-36276.

Type: DPA reactor component.

Associated component: 0190-35867 (shell component).

Applicable models: P5000 and 5200 series CVD and etching systems.

Application Areas

Thin film deposition process for P5000 and 5200 series CVD equipment.

Dry etching process for P5000 and 5200 series etching equipment.

Maintenance and replacement of spare parts for materials and process equipment used in semiconductor wafer fabs.

Refurbishment of second-hand semiconductor equipment and updating of reactor components.

The spare parts warehouse of the wafer fab is reserved to ensure the continuous operation of the production line.

ending

The AMAT 0090-36276 DPA reactor component is the core hardware for performing CVD and etching processes in P5000 and 5200 series equipment, and its status directly affects the reaction environment and film formation quality of the process chamber. It is a key component that needs to be paid attention to in equipment maintenance and refurbishment

AMAT 0090-36276 反应器 产品图片

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型号：AMAT 0090-36276 反应器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货