Nikon 4S082-666-2 机器人控制器 PDF资料

1.产 品 资 料 介 绍：

Nikon 4S082-666-2 机器人控制器

该型号为尼康（Nikon）光刻系统中使用的机器人控制器，实际由川崎重工（Kawasaki）制造，对应川崎C60C-A001控制器型号，从尼康NSR-S205C步进重复曝光系统中拆机。

产品特点

1. 品牌背景：尼康是全球领先的光刻设备制造商，其NSR系列光刻机在半导体行业占据重要地位。

2. 实际制造商：该控制器由川崎重工代工制造，川崎在工业机器人领域具备成熟技术。

3. 对应型号：对应川崎C60C-A001控制器，部件号为4S211-553-2。

4. 软件版本：指令接口软件版本为WHK00V1.11或NKWH00V1.11，AS系统软件版本为001B0P0J。

5. 产地：日本原产。

关键信息

1. 品牌：尼康（Nikon）/ 实际制造商：川崎重工（Kawasaki）。

2. 尼康型号：4S082-666-2。

3. 对应川崎型号：C60C-A001。

4. 配套设备：尼康NSR-S205C步进重复曝光系统。

5. 产地：日本。

应用领域

1. 尼康NSR系列半导体光刻设备的机器人控制系统。

2. 晶圆步进重复曝光系统中的晶圆搬运与定位控制。

3. 半导体前道制造工艺的自动化晶圆传输。

4. 光刻机维护升级中的控制器替换与配套。

5. 半导体产线中需要高精度晶圆定位的自动化设备。

简而言之，Nikon 4S082-666-2是尼康光刻系统中采用、川崎电机代工的机器人控制器，专用于NSR-S205C等光刻设备的晶圆搬运与定位控制，是保障光刻工序晶圆传输精度的关键部件。

Nikon 4S082-666-2 机器人控制器  英文介绍

Nikon 4S082-666-2 Robot Controller

This model is a robot controller used in Nikon's lithography system, actually manufactured by Kawasaki Heavy Industries. It corresponds to the Kawasaki C60C-A001 controller model and was removed from the Nikon NSR-S205C step and repeat exposure system.

Product Features

Brand background: Nikon is a leading global manufacturer of lithography equipment, and its NSR series lithography machines play an important role in the semiconductor industry.

Actual manufacturer: The controller is manufactured by Kawasaki Heavy Industries, which has mature technology in the field of industrial robots.

Corresponding model: Corresponding to Kawasaki C60C-A001 controller, part number 4S211-553-2.

Software version: The instruction interface software version is WHK00V1.11 or NKWH00V1.11, and the AS system software version is 001B0P0J.

Origin: Originating from Japan.

Key information

Brand: Nikon/Actual manufacturer: Kawasaki Heavy Industries.

Nikon model: 4S082-666-2.

Corresponding Kawasaki model: C60C-A001.

Supporting equipment: Nikon NSR-S205C Step Repetitive Exposure System.

Origin: Japan.

Application areas

Robot control system for Nikon NSR series semiconductor lithography equipment.

Wafer handling and positioning control in the wafer step-by-step repeated exposure system.

Automated wafer transfer for semiconductor front-end manufacturing processes.

Controller replacement and matching in the maintenance and upgrade of lithography machines.

Automated equipment for high-precision wafer positioning is required in semiconductor production lines.

In short, Nikon 4S082-666-2 is a robot controller used in Nikon's lithography system and manufactured by Kawasaki Electric. It is specifically designed for wafer handling and positioning control of lithography equipment such as NSR-S205C, and is a key component to ensure wafer transfer accuracy in lithography processes.

Nikon 4S082-666-2 机器人控制器 产品图片

3.其他产品

Bently 3500/50 转速模块
EMERSON VE4003S3B1 标准I/O接线板
B&R 8LSA35E-2060D000-0伺服电机 

4.其他产品

 HIEE300885R0001 PPC380AE01 inverter module
TU810V1 3BSE013230R1 base module
LEM LC100SSP7 Serial communication module

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型号：Nikon 4S082-666-2 机器人控制器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货