Edwards PT66-1Z-000 半导体涡轮分子泵 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

Edwards PT66-1Z-000 涡轮分子泵是 Edwards STP 系列磁悬浮分子泵中的一款大抽速型号，对应型号 STP-A2203（或 STPA2203）。该泵采用五轴主动式磁悬浮轴承技术，通过磁场力将转子悬浮于空中，实现无接触、无摩擦、无需润滑油的运行，为半导体及高端工业领域提供无油、洁净的高真空环境。

一、产品应用领域（10条）

1. 半导体物理气相沉积

2. 半导体化学气相沉积

3. 半导体刻蚀工艺（介质刻蚀、金属刻蚀）

4. 半导体离子注入工艺

5. 平板显示器制造

6. 太阳能电池镀膜

7. 光学镀膜与数据存储介质制造

8. 科研实验中的高真空系统

9. 粒子加速器与大科学装置

10. 分析仪器（质谱仪、电子显微镜等）

二、核心产品参数（5条）

1. 产品系列：STP 系列磁悬浮涡轮分子泵

2. 产品型号：STP-A2203（对应料号 PT66-1Z-000）

3. 进气口法兰：ISO250K

4. 抽速（N₂）：2200 L/s

5. 极限压力：10⁻⁸ Pa 量级（10⁻¹⁰ mbar 量级）

结尾： 综上所述，Edwards PT66-1Z-000（STP-A2203）作为 STP 系列大抽速磁悬浮分子泵的典型代表，凭借其 2200 L/s 的氮气抽速、五轴主动磁悬浮轴承技术及无油洁净的真空特性，为半导体刻蚀、沉积及科研等高真空应用领域提供了可靠的核心设备

Edwards PT66-1Z-000 半导体涡轮分子泵  英文介绍

The Edwards PT66-1Z-000 turbomolecular pump is a high pumping speed model in the Edwards STP series magnetic levitation molecular pump, corresponding to the STP-A2203 (or STPA2203) model. The pump adopts five axis active magnetic levitation bearing technology, which suspends the rotor in the air through magnetic field force, achieving non-contact, frictionless, and oil-free operation, providing oil-free and clean high vacuum environment for semiconductor and high-end industrial fields.

1、 Product application areas (10 items)

Semiconductor Physical Vapor Deposition

Semiconductor Chemical Vapor Deposition

Semiconductor etching process (dielectric etching, metal etching)

Semiconductor ion implantation process

Flat panel display manufacturing

Solar cell coating

Optical coating and manufacturing of data storage media

High vacuum system in scientific research experiments

Particle accelerators and large-scale scientific facilities

Analytical instruments (mass spectrometer, electron microscope, etc.)

2、 Core product parameters (5 items)

Product series: STP series magnetic levitation turbo molecular pump

Product model: STP-A2203 (corresponding to part number PT66-1Z-000)

Inlet flange: ISO250K

Extraction speed (N ₂): 2200 L/s

Ultimate pressure: on the order of 10 ⁻⁸ Pa (on the order of 10 ⁻¹⁰ mbar)

Conclusion: In summary, Edwards PT66-1Z-000 (STP-A2203), as a typical representative of STP series high pumping speed magnetic levitation molecular pumps, provides reliable core equipment for high vacuum applications such as semiconductor etching, deposition, and scientific research with its 2200 L/s nitrogen pumping speed, five axis active magnetic levitation bearing technology, and oil-free clean vacuum characteristics

Edwards PT66-1Z-000 半导体涡轮分子泵 产品图片

3.其他产品

CPM81 电源模块
EMERSON CE4005S2B4 标准I/O接线板
WESTINGHOUSE 1C31189G01速度探测器模块 

4.其他产品

IS200AEADH4ADA Gas turbine module
IS210AEBIH1BED Gas turbine module
IS210AEDBH4AGD Gas turbine card

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型号：Edwards PT66-1Z-000 半导体涡轮分子泵

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货