Advanced Energy 27-368299-00 射频发生器 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

 Advanced Energy 27-368299-00 射频发生器（型号 3150311-000）是 Advanced Energy（优仪）旗下 PDX II 3000 AE 系列的一款 3kW 高频等离子电源模块。该产品采用先进的数字控制技术，可提供精确、可调的输出电压和电流，内置过温、过压、过流及反极性等多重保护功能，专为半导体及高端制造领域中的等离子体工艺而设计。

一、产品应用领域（10条）

1. 半导体刻蚀工艺（介质刻蚀、金属刻蚀）

2. 半导体化学气相沉积（CVD）

3. 半导体物理气相沉积（PVD）

4. 半导体等离子体增强化学气相沉积（PECVD）

5. 半导体晶圆干法清洗

6. 光刻胶去除（去胶/灰化工艺）

7. 晶圆表面活化处理

8. 平板显示器（FPD）面板制造

9. 太阳能电池板制造

10. 先进薄膜沉积与硬质涂层应用

二、核心产品参数（5条）

1. 产品型号：3150311-000（料号 27-368299-00）

2. 产品系列：PDX II 3000 AE / PDX 3000 MF

3. 输出功率：3 kW

4. 输入电源：三相 208 VAC

5. 产品状态：该型号为已停产产品，目前多作为二手备件在市场流通

结尾： 综上所述，Advanced Energy 27-368299-00（3150311-000）作为 PDX II 3000 AE 系列 3kW 射频等离子电源模块，为半导体刻蚀、沉积及平板显示等领域的等离子体工艺提供了可靠的功率输出与精确的控制能力

Advanced Energy 27-368299-00 射频发生器  英文介绍

The Advanced Energy 27-368299-00 RF generator (model 3150311-000) is a 3kW high-frequency plasma power module from the PDX II 3000 AE series under Advanced Energy. This product adopts advanced digital control technology and can provide precise and adjustable output voltage and current. It has multiple protection functions such as over temperature, over voltage, over current, and reverse polarity, and is designed specifically for plasma processes in the semiconductor and high-end manufacturing fields.

1、 Product application areas (10 items)

Semiconductor etching process (dielectric etching, metal etching)

Semiconductor Chemical Vapor Deposition (CVD)

Semiconductor Physical Vapor Deposition (PVD)

Semiconductor Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition (PECVD)

Dry cleaning of semiconductor wafers

Photoresist removal (de coating/ashing process)

Wafer surface activation treatment

Flat Panel Display (FPD) Panel Manufacturing

Manufacturing of solar panels

Advanced Thin Film Deposition and Hard Coating Applications

2、 Core product parameters (5 items)

Product model: 3150311-000 (part number 27-368299-00)

Product Series: PDX II 3000 AE/PDX 3000 MF

Output power: 3 kW

Input power supply: three-phase 208 VAC

Product status: This model is a discontinued product and is currently circulating in the market as a second-hand spare part

Conclusion: In summary, Advanced Energy 27-368299-00 (3150311-000), as a PDX II 3000 AE series 3kW RF plasma power module, provides reliable power output and precise control capabilities for plasma processes in semiconductor etching, deposition, and flat panel displays

Advanced Energy 27-368299-00 射频发生器 产品图片

3.其他产品

BENTLY 3500/45-01-00 轴承振动传感器
UAC383AE01伺服控制器
B&R 8MSA3M.R0-42 数字输入模块 

4.其他产品

DI3201 DI3201-A-V001 Digital input module
DO3201 DO3201-A-V001 pulse output card
DO810 3BSE008510R1 Control module

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型号：Advanced Energy 27-368299-00 射频发生器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货