NESLAB 620000000015 换热式冷水机组 PDF资料
1.产 品 资 料 介 绍：
NESLAB 620000000015 换热式冷水机组（型号 STEELHEAD 0）是 Thermo Neslab 为 AMAT（Applied Materials）半导体设备定制的一款热流体循环换热系统。该系统采用双回路设计，主回路提供恒温流体循环，第二回路通过板式换热器利用厂务水进行冷却，并配有 6 kW 加热器。产品符合 CE、IBM 安全标准及 EMO 紧急停机规范，专为半导体前道制程中的精密温控需求而设计。
一、产品应用领域（10条）
半导体干法刻蚀（等离子体刻蚀，含射频/微波工艺）
半导体湿法刻蚀
半导体干法沉积（CVD、SACVD、PVD）
半导体湿法沉积（电化学沉积 ECP）
半导体离子注入
等离子体灰化（去胶工艺）
化学机械平坦化（CMP）
工艺腔室部件温控（腔壁、阴极、穹顶、上下电极、吸盘/磁盘）
臭氧发生器与射频电源冷却
清洗槽与电镀槽温控
二、核心产品参数（5条）
产品型号：STEELHEAD 0（料号 620000000015）
温度范围：+30℃ 至 +85℃
冷却能力：8 kW @ 5 GPM
电源规格：200-208 VAC，三相，50/60 Hz，23/25 A
通道配置：4 通道（每通道 2 GPM）
结尾： 综上所述，NESLAB 620000000015（STEELHEAD 0）作为 Thermo Neslab 为 AMAT 半导体设备定制的热流体换热系统，凭借其 8 kW 冷却能力、+30℃ 至 +85℃ 温控范围及 4 通道独立循环设计，为刻蚀、沉积、离子注入等关键半导体工艺提供了稳定可靠的温控解决方案
NESLAB 620000000015 换热式冷水机组 英文介绍
The Nikon 4S066-010-2 amplifier module (EXYC-L Amplifier Module SPA472E) is one of the key control components that Nikon provides for its NSR series lithography system. This module belongs to the Nikon EXYC series amplifier, model SPA472E, designed specifically for precision signal amplification and motion control in semiconductor lithography equipment.
1、 Product application areas (10 items)
Nikon NSR series lithography machine system matching
Control of semiconductor wafer step scanning exposure equipment
Precision motion control signal amplification in lithography equipment
Semiconductor manufacturing front-end lithography process equipment
Lithography machine stage positioning and driving system
Wafer Alignment and Exposure Control System
Maintenance spare parts for lithography equipment in semiconductor wafer fabs
Renovation and upgrading of second-hand lithography equipment
Photolithography equipment circuit signal conditioning and amplification
Integration of semiconductor manufacturing automation control system
2、 Core product parameters (5 items)
Product model: 4S066-010-2 (EXYC-L amplifier module)
Amplifier model: SPA472E
Associated part number: 4S013-684-1
Applicable system: Nikon NSR series lithography system
Manufacturing origin: Japan
Conclusion: In summary, Nikon 4S066-010-2 (EXYC-L Amplifier SPA472E), as a supporting amplifier module for Nikon NSR series lithography
NESLAB 620000000015 换热式冷水机组 产品图片
3.其他产品
KOLLMORGEN CP310250 伺服驱动器
YOKOGAWA SCP401-11 处理器模块
HONEYWELL CC-PAIH01分布式控制系统模块
4.其他产品
3BHB003688R0001 pulse output card
GE 705-1512-01 Automatic card
8421-CC-PS Bus structure module
| K31HLLG-LNK-NS-01 | PSR45-220 | IMASI02 |
| K31HLHJ-LNK-NS-00 | SS2000MD4M-0 | INICT12 |
| K31HCHJ-LNK-NS-01 | PSR45A-212 | IMCPM02 |
| IS415UCVGH1A | SA0000-01 | IEPAF01 |
| IS220PTURH1A IS220PTURH1B | SMARTSTEP-240-DB25 | IMBLK01 |
| IS220PTCCH2A IS220PICCH2B | S25HA-37F-24-AB-222K-S14-28 | IMDSI12 |
本篇文章出自瑞昌明盛自动化设备有限公司官网，转载请附上此链接:https://www.jiangxidcs.com
