MKS AX7700-10 远程等离子源 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

MKS AX7700-10 远程等离子源（RPS）是 MKS ASTRON Paragon 系列中的一款智能射频等离子电源。该产品采用远程等离子体源（RPS）设计，将等离子体生成区与工艺腔分离，有效避免电极污染与金属溅射。凭借高水平的气体离解率（>95%）和智能数据报告功能，为半导体及泛半导体行业的干法清洁与工艺处理提供高效、低颗粒的等离子环境。

一、产品应用领域（10条）

1. 半导体 CVD 腔室干法清洁

2. 半导体 ALD/ALE 腔室清洁

3. 半导体刻蚀工艺

4. 半导体晶圆干法清洗

5. 光刻胶去除（去胶工艺）

6. 晶圆表面活化处理

7. 平板显示器（FPD）面板制造

8. LED 芯片制造

9. 光伏电池板制造

10. 一般工业等离子体表面处理

二、核心产品参数（5条）

1. 产品系列：MKS ASTRON Paragon 系列远程等离子源

2. 型号：AX7700-10

3. 气体离解率：＞95%

4. 气体流量：最高 8 SLM

5. 合规认证：CE 标志

结尾： 综上所述，MKS AX7700-10（ASTRON Paragon 系列 RPS 远程等离子源）凭借其＞95%的高气体离解率、最高 8 SLM 的气体流量及智能数据报告功能，为半导体 CVD/ALD 腔室清洁及泛半导体行业相关工艺提供了高效、低污染的等离子体解决方案。

MKS AX7700-10 远程等离子源  英文介绍

The MKS AX7700-10 Remote Plasma Source (RPS) is an intelligent RF plasma power supply in the MKS ASTRON Paragon series. This product adopts a remote plasma source (RPS) design, which separates the plasma generation area from the process chamber, effectively avoiding electrode contamination and metal sputtering. With a high level of gas dissociation rate (>95%) and intelligent data reporting function, it provides an efficient and low particle plasma environment for dry cleaning and process processing in the semiconductor and pan semiconductor industries.

1、 Product application areas (10 items)

Dry cleaning of semiconductor CVD chamber

Cleaning of semiconductor ALD/ALE chamber

Semiconductor etching process

Dry cleaning of semiconductor wafers

Photoresist removal (photoresist removal process)

Wafer surface activation treatment

Flat Panel Display (FPD) Panel Manufacturing

LED chip manufacturing

Manufacturing of photovoltaic panels

General industrial plasma surface treatment

2、 Core product parameters (5 items)

Product series: MKS ASTRON Paragon series remote plasma source

Model: AX7700-10

Gas dissociation rate:>95%

Gas flow rate: up to 8 SLM

Compliance certification: CE mark

Conclusion: In summary, the MKS AX7700-10 (ASTRON Paragon series RPS remote plasma source) provides an efficient and low pollution plasma solution for semiconductor CVD/ALD chamber cleaning and related processes in the semiconductor industry with its high gas dissociation rate of over 95%, gas flow rate of up to 8 SLM, and intelligent data reporting function.

MKS AX7700-10 远程等离子源 产品图片

3.其他产品

100472-012 网络平台键盘
AB 1769-OF8C 模拟量输出模块
BENTLY 135799-01 显示接口模块 

4.其他产品

UNS0122A-P 3BHE042393R0101 Pulse output module
XXD129A01 3BHE012436R0001 PEC800-BP module
BENTLY 135489-03 Monitor module

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型号：MKS AX7700-10 远程等离子源

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货