MKS AX7700MTS-03 等离子体源 PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

MKS AX7700MTS-03 等离子体源是 MKS（ASTRON）旗下 Paragon F 系列的一款射频等离子电源，采用远程等离子源（RPS）设计，等离子体在远离工艺腔的独立腔体内生成后输送至晶圆表面，可有效避免电极污染与金属溅射，为半导体及泛半导体行业的关键工艺提供高稳定性、高电离效率、低污染的等离子环境。

一、产品应用领域（10条）

1. 半导体刻蚀工艺（介质刻蚀、导体刻蚀）

2. 半导体化学气相沉积（CVD）

3. 半导体物理气相沉积（PVD）

4. 半导体离子注入工艺

5. 半导体晶圆干法清洗

6. 光刻胶去除（去胶工艺）

7. 晶圆表面活化处理

8. 光伏电池板制造（PECVD 等工艺）

9. 平板显示器（FPD）面板制造

10. LED 芯片制造

二、核心产品参数（5条）

1. 产品系列：MKS ASTRON Paragon F 系列远程等离子源（RPS）

2. 额定功率：7000 W

3. 工作频率：13.56 MHz ±0.05%

4. 电离效率：≥95%

5. 冷却方式：水冷

结尾： 综上所述，MKS AX7700MTS-03（Paragon F 系列 RPS 远程等离子源）作为半导体及泛半导体行业干法工艺中的主流型号，凭借其 7kW 大功率射频输出、≥95% 的高电离效率及远程等离子体设计，为刻蚀、沉积、清洗等关键工艺提供了稳定高效的等离子环境。

MKS AX7700MTS-03 等离子体源  英文介绍

The MKS AX7700MTS-03 plasma source is a radio frequency plasma power supply from the Paragon F series under MKS (ASTRON). It adopts a remote plasma source (RPS) design, and the plasma is generated in an independent chamber far away from the process chamber and transported to the wafer surface, which can effectively avoid electrode contamination and metal sputtering, providing a high stability, high ionization efficiency, and low pollution plasma environment for key processes in the semiconductor and pan semiconductor industries.

1、 Product application areas (10 items)

Semiconductor etching process (dielectric etching, conductor etching)

Semiconductor Chemical Vapor Deposition (CVD)

Semiconductor Physical Vapor Deposition (PVD)

Semiconductor ion implantation process

Dry cleaning of semiconductor wafers

Photoresist removal (photoresist removal process)

Wafer surface activation treatment

Photovoltaic panel manufacturing (PECVD and other processes)

Flat Panel Display (FPD) Panel Manufacturing

LED chip manufacturing

2、 Core product parameters (5 items)

Product Series: MKS ASTRON Paragon F Series Remote Plasma Source (RPS)

Rated power: 7000 W

Operating frequency: 13.56 MHz ± 0.05%

Ionization efficiency: ≥ 95%

Cooling method: Water cooling

Conclusion: In summary, MKS AX7700MTS-03 (Paragon F series RPS remote plasma source), as a mainstream model in dry process technology in the semiconductor and pan semiconductor industries, provides a stable and efficient plasma environment for key processes such as etching, deposition, and cleaning with its 7kW high-power RF output, high ionization efficiency of ≥ 95%, and remote plasma design.

MKS AX7700MTS-03 等离子体源 产品图片

3.其他产品

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AB 1769-OF8C 模拟量输出模块 

4.其他产品

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型号：MKS AX7700MTS-03 等离子体源

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货