Spectrum 10513-00R 500362787 射频发生器  PDF资料 

1.产 品 资 料 介 绍：

Spectrum 10513-00R 500362787 射频发生器

该型号为 ENI（现为 MKS Instruments 旗下）Spectrum 系列射频发生器，型号标识为 Spectrum B-10513，属于工业级大功率射频电源设备。

产品特点

• 属于 ENI Spectrum 系列射频发生器，具体型号为 B-10513，部件编号 10513-00R。

• 输出功率为 10500W（10.5kW），工作频率 13.56MHz，适用于大功率等离子体加工场景。

• 输入电源规格为三相 200-208V AC。

• 在二手设备市场中有经制造商翻新的版本流通，配备原厂测试报告，品质有保障。

• 广泛应用于半导体等离子体工艺、蚀刻、CVD、PVD 等对射频功率要求较高的工业制程。

核心参数

• 制造商：ENI（MKS Instruments）。

• 型号：Spectrum B-10513。

• 部件编号：10513-00R。

• 客户料号：500362787。

• 输出功率：10500W @ 13.56MHz。

• 电源输入：三相 200-208V AC。

总结
Spectrum 10513-00R（B-10513）是 ENI 旗下 Spectrum 系列的一款大功率工业射频发生器，提供 10.5kW @ 13.56MHz 的射频输出能力，适用于半导体制造等对等离子体加工功率要求较高的工艺场景。在三相 200-208V 电源下运行

Spectrum 10513-00R 500362787 射频发生器   英文介绍

Spectrum 10513-00R 500362787 RF Generator

This model is the ENI (now under MKS Instruments) Spectrum series RF generator, labeled as Spectrum B-10513, and belongs to the industrial grade high-power RF power supply equipment.

Product Features

Belonging to the ENI Spectrum series RF generator, specific model B-10513, part number 10513-00R.

The output power is 10500W (10.5kW) and the operating frequency is 13.56MHz, suitable for high-power plasma processing scenarios.

The input power specification is three-phase 200-208V AC.

There are refurbished versions circulating in the second-hand equipment market, equipped with original factory test reports and guaranteed quality.

Widely used in industrial processes such as semiconductor plasma technology, etching, CVD, PVD, etc. that require high RF power.

Core parameters

Manufacturer: ENI (MKS Instruments).

Model: Spectrum B-10513.

Part number: 10513-00R.

Customer part number: 500362787.

Output power: 10500W @ 13.56MHz.

Power input: three-phase 200-208V AC.

Summary

The Spectrum 10513-00R (B-10513) is a high-power industrial RF generator from the Spectrum series under ENI, providing an RF output capability of 10.5kW @ 13.56MHz. It is suitable for process scenarios such as semiconductor manufacturing that require high plasma processing power. Operating under three-phase 200-208V power supply

Spectrum 10513-00R 500362787 射频发生器  产品图片

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型号：Spectrum 10513-00R 500362787 射频发生器

质保：一年

成色：全新/二手

优势产品：ABB、GE、FOXBORO、TRICONEX、BENTLY、A-B、MOTOROLA、HONEYWELL 、SCHNEIDER 

                    WOODWARD、EMERSON、RELIANCE、DEIF、NI、XYVOM等

特点：主营产品各种模块/卡件，控制器，触摸屏，伺服驱动器。

应用行业：广泛应用于冶金、石油天然气、玻璃制造业、铝业、石油化工、煤矿、造纸印刷、纺织印染、机械、电子制造、汽车制造、烟草、塑胶机械、电力、水利、水处理/环保、市政工程、锅炉供暖、能源、输配电等

快递方式：国内顺丰、德邦、京东快递包邮，按照实际报价货期发货