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FEI GIS 26833-E控制器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:FEI GIS 26833-E 是 FEI(现属赛默飞世尔)电子显微镜配套气体注入系统(Gas Injection System, GIS)的控制器模块,用于控制 GIS 的阀门开关、加热及气体流量,配合聚焦离子束(FIB)
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