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FEI 1036162等离子清洁器单元 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:FEI 1036162 等离子清洁器单元是 FEI 电子显微镜(SEM/FIB)系统中用于样品腔原位清洁的选配组件,通过产生氧自由基去除样品及腔体表面的碳氢污染物。产品特点(5条)原位清洁设计:在电镜样品腔内直接进行清
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