AMAT 0190-48210线性执行器组件 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0190-48210 线性执行器组件产品特点（3 条）应用材料（AMAT）原厂线性执行器组件，用于半导体设备内部的精密直线运动控制。内置安川 SGMMV-A2E2A-YA15 伺服电机，集成度高，响应快速。