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AMAT 0042-34691晶圆升降组件 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0042-34691 晶圆升降组件应用领域（12条）CVD 化学气相沉积设备：交接晶圆PVD 物理气相沉积设备：顶起或降下晶圆刻蚀设备：顶起晶圆，避免碰伤卡盘湿式清洗设备：升降晶圆，浸入或脱离清洗液热处理/
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