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Novellus Systems BB10-155942波纹管执行器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Novellus Systems BB10-155942 是 Novellus（后被 Lam Research 收购）设备上用的一个波纹管执行器，属于真空传输或工艺腔体里的动作执行部件。它有
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