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LAM 853-172610-002输出射频匹配模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：LAM 853-172610-002 是 Lam Research（泛林）设备上用的一个四路输出射频匹配模块。它有哪些特点四路输出设计，能同时匹配多路射频信号属于射频匹配网络，负责把发生器输出和腔体负载的阻抗
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