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Yaskawa YSC-02D04B02主轴电机 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：这个 Yaskawa YSC-02D04B02 是安川电机（Yaskawa）给 Novellus（现在归 Lam Research）半导体设备配套的主轴电机。下面简单说说。产品特点安川原厂出品，属于半导体设备上用
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