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ADTEC 27-307431-00等离子体发生器模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：ADTEC 27-307431-00 这款等离子体发生器模块，简单说就是诺发（Novellus）半导体设备上用的射频电源。产品特点ADTEC 原厂射频等离子体发生器，日本制造，带 CE 认证。属于 AXR
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