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AMAT 0010-09237 CVD灯模块组件 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AMAT 0010-09237 这个 CVD 灯模块组件，是 Precision 5000 系列设备上 BWCVD 工艺用的 200mm 灯模块，市面上有工作剩余件在流通。产品特点1 AMAT 原厂 200mm
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