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Genus X6045500电流积分器组件 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Genus X6045500 这个电流积分器组件，是 AMAT 的 Genus 系列设备里用的，具体来说就是离子注入机上的束流电流积分器组件。它的原厂零件号是 X6045500，装在机架上，负责测量和积分离子束的电流
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