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Shinko SBX92101286-4晶圆搬运机器人 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Shinko SBX92101286-4 是应用于 TEL Trias 系统的 300mm 晶圆搬运机器人，属于半导体设备中的晶圆传输机械手模块。特点300mm 晶圆搬运：专为 300mm 晶圆传输设计，
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