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AE 27-339413-00射频匹配模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AE 27-339413-00 是 Advanced Energy（AE）RF Navigator 系列射频匹配模块的部件号，属于半导体等离子体工艺中的阻抗匹配单元。特点射频阻抗匹配：用于快速完成工艺腔室负载阻抗匹配
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