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Nikon 4S587-005控制模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：Nikon 4S587-005，这其实是 Queensgate NS2300/A 位置传感器单元在 Nikon 光刻机里的备件号，不是普通控制模块。它装在 Nikon NSR 系列步进扫描光刻机上，负责精密位置反馈。产品特
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