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ADTEC 0190-24250射频等离子体发生器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：ADTEC 0190-24250，这就是 AX-3000III 的 AMAT 应用材料备件号，日本 ADTEC 造，专供半导体产线的射频等离子体发生器。产品特点13.56MHz 工业标准射频，适配 AMAT
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