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ENI GHW12Z-13DF2N0-001射频发生器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：ENI GHW12Z-13DF2N0-001是ENI（后被MKS Instruments收购）Genesis GHW系列的一款射频发生器，最大输出功率12.5kW，频率13.56MHz，主要用于半导体制造中
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