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Edwards PT21FZ000X5涡轮分子泵 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:涡轮分子泵就是给工艺腔室“抽高真空”的狠角色。Edwards PT21FZ000X5这款爱德华兹的产品,专门为半导体设备提供强劲的高真空抽取能力。5个特点抽气猛:多级涡轮高速旋转,能把腔室抽到高真空甚至超高真空
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