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Kawasaki TS310A-D524S晶圆搬运机器人组 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：晶圆搬运机器人组，听着挺大，干的事儿其实就一个——把晶圆从一个地方安全、准确地搬到另一个地方。Kawasaki TS310A-D524S这个型号，就是川崎在半导体搬运领域里一款靠得住的成熟机型。5个特点
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