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TEL 3887-236819晶圆输送机器人 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：聊到TEL 3887-236819这个晶圆输送机器人，它是东京电子为半导体工艺机台配套的晶圆传输组件，属于设备自动化搬运系统中的关键执行部件。特点作为TEL原厂晶圆传输组件，专门负责工艺腔室与装载模块之间的晶圆取放
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