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LAM 853-172610-003输出射频匹配模块 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：聊到LAM 853-172610-003这个输出射频匹配模块，它是LAM刻蚀或沉积设备上负责射频阻抗匹配和能量分配的核心部件。特点支持多路输出，可在多腔室间分配和平衡射频功率。内部集成可调谐电容，支持独立调节
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