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Lam 853-232450-002换热底座装配 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍:聊到Lam 853-232450-002这个换热底座装配,它是泛林半导体(Lam Research)工艺机台上用于温度控制的底座组件,在刻蚀或沉积工艺中负责承载晶圆并精确控制其工艺温度。产品特点属于Lam Res
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