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AE 3150258-150射频发生器 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：AE 3150258-150（VHF Ovation 5060）射频发生器：VHF频段的等离子体利器搞半导体刻蚀或PVD镀膜的朋友应该都熟悉AE的射频发生器。这款3150258-150，属于VHF Ovation 506
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