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TMP-3203LMEC-K1涡轮分子泵 PDF资料1.产 品 资 料 介 绍：TMP-3203LMEC-K1涡轮分子泵是岛津公司的一款高真空获取设备，靠高速旋转的叶片把气体分子“踢”出腔体，在半导体和科研领域用得挺多。产品特点多级涡轮叶片串联，能抽到10⁻⁶Pa以上的高真空，满足半导体工艺的严苛
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